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光束诱导电流成像检测系统(LBIC)

2019/08/15

  产品用途:通过不同激光波长在半导体中的吸收距离和微区光电转换,可以表征

  光电子器件及太阳能电池微区的短路电流分布、表层缺陷、反射率等特性参数,

  并通过横向扫描(Mapping)形成图像,以反应各种参数的平面均匀性,尤其是

  晶界和位错分布, 为光电子器件及太阳能电池的结构优化和工艺改进提供参考依

  据。设备可应用于太阳能电池研究,GaAs、InP、GaN 光电子器件的研究。该设

  备克服了大面积光照下I-V 测试与单点光谱测试的不对应性和不准确性,大大提

  高了光电子器件诊断精度。

  产品指标:

  (1) 样品尺寸:Max 200×160 mm2,Min 1×1 mm2

  (2) 激光波长:532 和 980nm,也可根据材料的光吸收系数而自行选配

  (3) 激光光斑:50μm/100μm 可选

  (4) 测试电流范围:1 μA–1 mA

  (5) 测试模式:LBIC,LBIV,内外量子效率,反射率,扩散长度,均为

  mapping成像

  (6) 扫描步长:0.05、0.1、0.2、0.5、1、2、4 mm(可根据实际需要自定

  义)

  (7) 扫描速度:15 points/s

  (8) 可进行单点或连续扫描(mapping)测试


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